Ellipsometru spectroscopic UVISEL Plus | Horiba

Ellipsometrul de referinta pentru masuratorile de filme subtiri.
Ellipsometrul UVISEL Plus ofera cea mai buna combinatie de modularitate si performanta pentru caracterizarea avansata a filmelor subtiri, suprafetelor si interfetelor. Noul UVISEL Plus include cea mai recenta tehnologie de achizitie proiectata pentru a masura mai rapid si mai precis ca niciodata. FastAcq, cea mai noua tehnologie de achizitie, se bazeaza pe dubla modulatie, conceputa pentru caracterizarea reala a filmelor subtiri. Bazata pe un nou monochromator electronic, de procesare a datelor si de inalta viteza, noua tehnologie FastAcq permite finalizarea unei masuratori a esantionului de la 190 la 2100 nm in 3 minute, la o rezolutie ridicata.

Resurse:

Descriere

Caracteristici cheie:

Cea mai mare precizie si sensibilitate.
Design modular.
Gama spectrala larga: 190-2100 nm.
Pachet software complet integrat pentru masuratori, modelare si operatii automate.
Informatii obtinute:
Grosimea filmului subtire de la 1A la 50 µm
Rugozitatea suprafetei si a interfetei
Constante optice (n, k) pentru filme izotrope, anizotrope si gradate
Date optice derivate, cum ar fi: coeficientul de absorbtie α, banda optica Eg
Proprietati ale materialului: compozitie aliaj compus, porozitate, cristalinatate, morfologie si altele
Matrice Mueller
Depolarizare

Specificatii tehnice:

Gama spectrala: de la 190 la 885 nm │ Optiune de extensie NIR pana la 2100 nm
Detectare: Monocromator de inalta rezolutie cuplat la detectoare sensibile
Configurare manuala:
Dimensiunea spotului: 0,05 – 0,1 – 1 mm (orificiu mic)
Scena de esantionare: 150 mm, inaltime manuala (20 mm) si ajustare inclinare
Goniometru: Unghi reglabil manual de la 55° la 90° cu pas de 5°
Configurare automata:
Scena de esantionare automatizata: Scena de esantionare XY de 200×200 mm, 300×300 mm, inaltime manuala (4 mm) si ajustare inclinare, scena de esantionare XYZ, scena theta
Goniometru automat: Unghi reglabil automat de la 45° la 90° cu pas de 0,01°
Goniometru integrat:
Unghi manual de incidenta: de la 35° la 90° cu pas de 5°
Suport de esantionare: 150 mm, ajustare manuala a inaltimii z (20 mm)
Sistem de autocollimare pentru alinierea esantionului ca optiune
Dimensiune: latime: 25 cm; inaltime: 35 cm; adancime: 21 cm
Configuratie in situ:
Adaptare mecanica: flanse CF35 sau KF40
Comutare usoara intre configuratiile in-situ si ex-situ

NU AI GASIT CE CAUTAI?

Echipa noastra este aici sa te ajute! Suna-ne sau lasa-ne un mesaj si un consultant Apel Laser va fi bucuros sa raspunda intrebarilor tale si sa gaseasca solutii personalizate pentru tine.

Cum ati auzit de noi?