Caracteristici cheie:
Performanta:
Sistem mare pentru probe cu scaner cu varf de flexiune capabil de rezolutie atomica.
Stabilitatea masuratorilor cea mai ridicata cu excitatie fototermala CleanDrive.
WaveMode: Cea mai rapida imagistica off-resonance pentru masuratori reproducibile si rapide.
Versatilitate:
Gama mare de scanare: 100 x 100 x 20 μm³.
Compatibil cu o selectie larga de metode de caracterizare nanoelectrice (NEC), cum ar fi solutia SMM a Nanosurf.
Functionalitate extensibila cu accesorii si optiuni software.
Automatizare:
Aliniere complet automata a laserului si calibrare automata a cantileverului.
Imagistica automata pe fiecare regiune de interes din zona de esantionare XY complet adresabila de 200 x 200 mm².
Masuratori precise si consistente ale rugozitatii cu WaveMode.
Obtinerea Celei Mai Ridicate Rezolutii cu un Scaner Mare
Datorita tehnologiei superioare a capului de scanare DriveAFM, este posibila imagistica la rezolutie atomica, chiar si pe acest sistem cu scena mare.
Aceasta combinatie puternica permite observarea dimensiunilor caracteristice care acopera mai multe ordine de marime, facand o gama larga de structuri accesibile pentru analiza.
Specificatii tehnice:
Z-travel : 13 mm.
XY-travel : 200 mm.
Precizia de repozitionare XY :2 µm.
Dimensiunea platformei de esantionare: 200 x 200 mm².
Dimensiunea esantionului :Max. 200 x 200 x 10 mm³.
Greutatea esantionului: Max. 2 kg.
Mandrina cu vid pentru : wafer de 4, 6, 8 inch.
Tehnologie a scenei: Motor pas cu pas / curea / rulmenti de aer.
Zgomotul Z (RMS mod dinamic) : < 20 pm, VC-G.
Izolare acustica STC rating : 48.
Izolare impotriva vibratiilor : Amortizare activa.
Cerinte de vibratii la sol: VC-E sau mai bine.