Sunt disponibile configuratii standard pentru: curatarea substraturilor, precum si pentru foto-masti, depuneri straturi foto-rezistente, developare, gravare si procese lift-off.
Caracteristici cheie:
Carcasa confectionata complet din polipropilena naturala (NPP);
Brat mobil liniar pentru pulverizarea directa catre suprafata substratului, cu jeturi de mare presiune si cu jeturi megasonice.
Epurator integrat de inalta presiune pana la 200 de bari;
Varfurile de pulverizare interschimbabile de inalta presiune, prezinta muchii de pulverizare concepute pentru a asigura o acoperire uniforma;
Echipat cu sistem megasonic de curatare, cu debit si putere ajustabile.
Sistem de spalare cu apa calda deionizata cu sistem de incalzire de 3,5kW PFA, potrivit pentru fluide de inalta puritate.
Partea superioara a substratului si partea inferioara se clateste cu ajutorul sistemului cu apa deionizata;
Sistem injectare CO2 integrat;
Azot injectat prin capac sau prin bratul mobil;
Pentru substraturi pana la Ø 300 mm;
Camera de procesare inchisa, cu capac transparent pentru un control facil al procesului;
Algoritmi usor de configurat, programabili pas cu pas, cu urmatoarele setari:
Activarea pompei de inalta presiune;
Activarea megasonica si nivelul intensitatii de iesire reglabile pe fiecare pas;
Clatire cu apa calda deionizata (Temperatura reglabila pentru fiecare reteta in parte)
Timp 1-999 sec / pas
Viteza 1-10.000 rpm
Acceleratie / decelerare 1-30.000 rpm / sec
Specificatii:
Numar disponibil de programe 50;
Pasi per program 100;
Viteza de rotatie * 1 – 10.000 rpm ** ± 1 rpm;
Precizia vitezei de rotatie ± 0,1 rpm **
Directia de rotatie in sensul acelor de ceasornic, in sens invers acelor de ceasornic, alternativ;
Acceleratie maxima 30.000 rpm / sec;
Acuratetea acceleratiei ± 0,1 rpm / sec;
Acuratetea citirii vitezei de rotatie ± 0,1 rpm;
Date despre sistem:
Interfata Tastatura si afisaj LCD, rezistente la substante chimice, IP50.
Model rezervor 2x rezervor de proces, material NPP, volum efectiv de 10 L.
Accesorii pistol de pulverizare apa deionizata, pistol de pulverizare N2, tubulatura vid, indicatoare de lumina frontale.
Diametrul camerei 402 mm.
Dimensiune (versiune desktop) 1400 x 1600 x 950 mm.
Sisteme de siguranta, Senzor detectie scurgeri, senzor pentru evacuare, supapa alimentare cu sistem de inchidere.
Elemente de siguranta:
Pentru a proteja utilizatorii, camera de proces este deschisa automat si suportul este ridicat – pentru o manevrare mai usoara si mai sigura a substratului. Acest lucru elimina orice posibil contact intre operator si eventualele suprafete contaminate chimic. Se pot programa atat secventele de clatire manuala, cat automata ale camerei, permitand ca toate suprafetele contaminate sa fie usor neutralizate – chiar si dupa o intrerupere a alimentarii electrice. Sistemul automat de alimentare cu substante chimice si sistemul de drenaj / evacuare / exaustare sunt integrate in sistem pentru a asigura o functionare sigura. Garniturile, blocurile de sigurante monitorizate, senzorii de alarma, monitorizarea vidului, protectia la suprasarcina a motoarelor si comutatorul de urgenta asigura cele mai inalte standarde de siguranta.
