Caractersitici cheie:
Flexibilitatea aplicatiilor, rezultate de inalta calitate si precizie.
Noua placa compacta universala si robusta (RUCC) cu montare cinematica pentru laser.
Homogenizarea fasciculului unica pentru un profil si o definitie a craterului de ultima generatie.
Vizualizare de inalta definitie fara egal.
Optiune de diafragma rotativa XYR pentru ablatii patrate si dreptunghiulare.
Diafragma flexibila cu apertura variabila infinita (IVA) pentru selectarea dimensiunii punctului in incrementi de 1 micron.
Optiune pentru al doilea factor de magnificare pentru extinderea intervalului de dimensiuni ale punctului pana la 250 de microni.
Optiune pentru al doilea MFC pentru controlul fluxului de azot (N2).
Caractersitici LASER:
Lungime de unda: 193 nm;
Rata de repetitie: 1-200 Hz (extensibila la 500 Hz si 1000 Hz);
Fluenta: 15 J/cm2 la suprafata esantionului;
Dimensiuni punct: 1-150 microni (extensibila la 250 microni);
Scena XY: 100 mm x 100 mm standard;
Camere de ablatie: TwoVol2;
