Interferometru laser Verifire HDX | Zygo Corporation

Rezolutie a camerei de 5,3 megapixeli (Verifire HD) si 11,6 megapixeli (Verifire HDX): Sistemul utilizeaza camere de inalta rezolutie pentru a captura imagini detaliate ale suprafetei testate. Aceasta este sustinuta de designuri optice riguroase si validate prin tehnici de calificare ITF proprietare ale ZYGO.
Tehnologie de achizitie QPSI™: Aceasta tehnologie exclusiva ZYGO permite masuratori fiabile in medii supuse vibratiilor, asigurand rezultate precise si consistente.
Sursa de laser HeNe fabricata de ZYGO: Sistemul utilizeaza un laser HeNe produs de ZYGO pentru a oferi o sursa de lumina stabila si durabila.
Durata de viata mai mare a laserului: Laserul din sistemul Verifire HDX are o durata de viata de 60.000 de ore, mai mare decat laserul comercial disponibil pe piata. Este sustinut de o garantie de 3 ani.
Putere mai mare pentru performante imbunatatite in cazul vibratiilor si aplicatiilor cu iluminare redusa.
Stabilizare a lungimii de unda: Lungimea de unda a laserului este stabilizata la 0.0001 nm, asigurand masuratori precise si consistente.
Optional DynaPhase™: Aceasta optiune permite achizitia instantanee a datelor, permitand masuratori insensibile la vibratii in cele mai dificile medii.
Sistemul de reducere a artefactelor coerente (CARS): Acest sistem elimina artefactele in forma de tinta din artefactele interne si reduce zgomotul coerent in masuratori cu pana la 10x.
Moduri achizitie:
PSI – Interferometrie cu shiftare temporala de faza;
QPSI – Interferometrie cu shiftare de faza in conditii de vibratie;
DynaPhase™ – Interferometrie instantanee insensibila la vibratie;

Sistem aliniere;
Sistem de achizitie rapid al franjelor (QFAS);
Cu reticul cu spot dublu;
Diametru fascicul test: 4 inch (102 mm) sau 6 inch (152 mm);
Camera: Rezolutie: 1200 x 1200 pixeli;
Frecventa cadre: 160 Hz;
Digitizare: 8 bit;
Timp achizitie: 81 – 188 ms (PSI, QPSI);
RMS Repetabilitate: <0.06 nm, λ/10,000 (2σ);
RMS Repetabilitate front de unda: <0.35 nm, λ/1,800 (mediere + 2 σ);
Deviatie peak pixel: <0.5 nm, λ /1,200 (99.5th %);