Generator de tip High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPiMS) | APEL LASER

De ce HiPiMS?
Densitate si aderenta imbunatatite a filmului;
Uniformitate sporita a filmului;
Control crescut asupra grosimii si structurii filmului;
Reducerea daunelor la substrat;
Eficienta mai mare si costuri mai reduse;
Impact mai mic asupra mediului;

Caracteristici generale:

Disponibil fie cu o sursa de alimentare integrata, fie cu alimentare DC a clientului.
Tensiune maxima reglabila (≤1200 V) si putere maxima (≤10 kW).
Durata de impuls personalizabila (5…100 µs).
Configuratie plug-and-play.
Control al arcului.

Specificatii Tehnice:
HipStar – S Slim:

Tensiune Maxima de Varf, [V]: < 900
Curent Maxim de Varf, [A]: < 60
Durata Impuls, [microsecunde]: 5.. 150
Putere Maxima de Varf [kW]: < 5
Putere Medie de Iesire [W]: < 100
Greutate, [kg]: < 5
Alimentare Electrica [VAC/ A]: 230/ 0.5
Alimentare Negativa cu Tensiune Inalta [V, DC], 600 W, externa: < 900

HipStar – M Midsize:

Tensiune Maxima de Varf, [V]: < 1200
Curent Maxim de Varf, [A]: < 100
Durata Impuls, [microsecunde]: 5.. 150
Putere Maxima de Varf [kW]: < 10
Putere Medie de Iesire [W]: < 500
Greutate, [kg]: < 9
Alimentare Electrica [VAC/ A]: 230/ 2
Alimentare Negativa cu Tensiune Inalta [V, DC], 600 W, externa: < 1200

Specificatii de mediu:M-1200/100

Temperatura de operare: +5°C pana la + 40°C.
Temperatura de depozitare: -25°C pana la +55°C.
Umiditate relativa: maxim 85%, fara condensare.
Racire: Racire cu aer.
Norme: Marcat CE.