GESTIONAREA MATERIALELOR ELECTRONICE | Thermco Systems

Gestionarea și distribuția substanțelor chimice

Procesarea chimică umedă începe cu livrarea substanțelor chimice — acizi și solvenți — în butoaie de volum mare, de regulă în recipiente de 25 litri, 40 litri sau 200 litri. Aceste butoaie sunt depozitate în Unități de Distribuție Chimică (CDU), de unde substanțele sunt transportate către punctul de utilizare prin pompă sau sistem presurizat constant.

Pentru volume mai mari, se pot utiliza containere industriale (IBC), amplasate extern față de CDU. CDU-urile sunt echipate în mod standard cu două butoaie, permițând comutare automată, asigurând astfel alimentare chimică continuă, indiferent de capacitate.

Unitățile CDU de la Thermco

Unitățile CDU de la Thermco sunt sisteme inteligente dotate cu interfață HMI, pentru setarea unor parametri precum niveluri de alarmă și programe de mentenanță. Acestea pot fi conectate:

• direct la sistemul central al fabricii (fab host)

• sau la sistemul centralizat de control Thermco, cunoscut sub numele de Data Concentrator

Recuperarea substanțelor chimice uzate se face cu ajutorul unei Unități de Colectare a Deșeurilor (WCU), similară cu CDU, dar funcționând invers. Aceasta este, în general, conectată la sump-ul unei mese de proces umed (wet bench).

Substanțe chimice tipice utilizate

Soluții apoase (acizi și baze):

• H₂SO₄ (acid sulfuric)

• HF (acid fluorhidric)

• HCl (acid clorhidric)

• HNO₃ (acid azotic)

• H₃PO₄ (acid fosforic)

• H₂O₂ (peroxid de hidrogen)

• NH₄OH (hidroxid de amoniu)

• KOH (hidroxid de potasiu)

Solvenți:

• EKC

• IPA

• NMP

Materiale utilizate pentru siguranță

Echipamentele de distribuție pentru solvenți trebuie să prevină acumularea de sarcină statică, din cauza naturii inflamabile a solvenților. Oțelul inoxidabil este materialul preferat pentru construcția incintelor destinate solvenților, datorită conductivității electrice, care previne acumularea sarcinilor electrostatice.

Pentru soluții apoase, incintele sunt realizate în general din polipropilenă (PP).
Pentru aplicații care necesită rezistență la foc (standard FM4910), se utilizează PVC ignifugat.

Specificații și opțiuni pentru CDU – Thermco

Caracteristici standard:

• Spălare pompă / filtru (cu DI pentru soluții apoase, cu N₂ pentru solvenți)

• Podea statică sau cu role (pentru butoaie >25 litri)

• Pompă chimică E15 (50 l/min), certificare ATEX pentru solvenți

• Izolare manuală a pompelor

• Reglare presiune CDA la intrare

• Senzor de butoi gol

• Buton „recunoaștere butoi nou”

• Detecție de scurgeri + retenție secundară

• Interfață semnal de cerere locală

• Detecție de evacuare

• Interblocări de ușă

• Kit conexiune butoi (cap standard + furtunuri umbilicale)

• Sistem de instalație chimică de înaltă puritate (0,5” / 0,75”)

• Pulverizator DI pentru interior

• Ecran tactil 8” Mitsubishi GOT HMI

• PLC de control + PLC de comunicație cu conexiune Ethernet

Opțiuni disponibile:

• Clasa chimică (apoasă / solvent)

• Carcasă filtru (elementul furnizat de client)

• Număr rezervoare: 1 sau 2

• Capacitate: 25 / 40 / 200 litri

• Polishing chimic pentru rezervor

• Comutare automată

• Rezervor „day tank” + opțiune de polishing

• Pistol spălare DI

• Tip drenaj: gravitațional / pompat / aspirat

• Metodă încărcare butoi

• Tip conexiune butoi

• Metodă de livrare: presiune constantă sau la cerere

• Porturi de mănuși / port de prelevare

• Pompă redundantă off-line

• Indicator presiune la ieșire spre VMB

Cabinete de gaze (Gas Cabinets)

Thermco oferă cabinete specializate pentru gaze, disponibile în configurații cu 1, 2 sau 3 cilindri.
Sunt disponibile variante pentru gaze inerte, toxice, corozive sau inflamabile, cu opțiuni de funcționare manuală, semi-automată sau complet automată, în funcție de aplicație.